-艾里卡特MCE系列和MCV系列直接替代通用型工業(yè)用質量流量控制器
上海2016年11月9日電 /美通社/ -- 英國豪邁旗下艾里卡特科技有限公司的質量流量控制器打造真空室內最佳鍍膜環(huán)境，確保在鍍膜和濺射工藝中保持產(chǎn)品的完整性。MCE系列和MCV系列質量流量控制器可用來替換傳統(tǒng)和已停產(chǎn)的MKS設備。MCE系列和MCV系列產(chǎn)品按照通用的工業(yè)用質量流量控制器尺寸設計，易于集成在現(xiàn)有系統(tǒng)中。在使用中，MCE系列和MCV系列質量流量控制器可快速、精確地控制流量，從而保障工藝均勻性和工序質量。
艾里卡特MCE系列和MCV系列質量流量控制器以50～100毫秒的控制響應速度精確地控制氣體流量，量程范圍為0-0.5 sccm（滿量程）至0-20 slpm（滿量程）?？焖俚目刂祈憫梢源蟠蟾纳普婵斟兡ぷ罱K產(chǎn)品質量，并且有助于消除靶中毒。集成式氣動切斷閥為常閉狀態(tài)，可提供氦氣泄漏率僅為1 x 10-9 atm-sccm/s的正向切斷。
MCE系列質量流量控制器用于取代MKS傳統(tǒng)型號1179A Mass-Flo，而MCV系列質量流量控制器則用于取代MKS已停產(chǎn)的型號2179A Mass-Flo的。艾里卡特質量流量控制器均采用12-30伏通用電源適配器供電。此外，艾里卡特質量流量控制器的通訊接口可與所有現(xiàn)有的9針或15針D-sub引腳相匹配，從而方便用戶進行替換。艾里卡特質量流量控制器可被任意方向安裝，甚至倒置，不需要進行再次校準，因此大大簡化了安裝過程。
預設了98種常用氣體的MCE系列和MCV系列質量流量控制器內預設了98種可以測量質量流量、體積流量、以及絕對壓力和溫度，并自帶溫度和壓力補償功能。用戶可通過質量流量控制器自帶的顯示屏接輸入設定值，也可通過RS-232（或RS-485）串口通訊進行遠程設定。
MCE系列和MCV系列質量流量控制器采用的艾里卡特專利的層流壓差技術，具有NIST可溯源校準證書以及CE認證。
